Pendapatan ASML Holding N.V. tahun lalu berjumlah27.56 B EUR, yang sebagian besar — 9.12 B EUR —berasal dari sumber dengan kinerja tinggi saat ini, Extreme Ultraviolet, tahun sebelumnya menghasilkan 7.05 B EUR. Kontibusi terbesar terhadap angka pendapatan dibuat oleh Taiwan — tahun sebelumnya memberikan ASML Holding N.V. 8.07 B EUR, dan tahun sebelumnya lagi — 8.10 B EUR.