Pendapatan ASML Holding N.V. tahun lalu berjumlah30.42 B USD, yang sebagian besar — 10.07 B USD —berasal dari sumber dengan kinerja tinggi saat ini, Extreme Ultraviolet, tahun sebelumnya menghasilkan 7.54 B USD. Kontibusi terbesar terhadap angka pendapatan dibuat oleh Taiwan — tahun sebelumnya memberikan ASML Holding N.V. 8.91 B USD, dan tahun sebelumnya lagi — 8.66 B USD.