Pendapatan ASML HOLDING NV tahun lalu berjumlah27.22 B EUR, yang sebagian besar — 8.94 B EUR —berasal dari sumber dengan kinerja tinggi saat ini, Extreme Ultraviolet, tahun sebelumnya menghasilkan 6.92 B EUR. Kontibusi terbesar terhadap angka pendapatan dibuat oleh Taiwan — tahun sebelumnya memberikan ASML HOLDING NV 7.91 B EUR, dan tahun sebelumnya lagi — 7.95 B EUR.