Pendapatan AXCELIS TECHS INC tahun lalu berjumlah951.90 M CHF, yang sebagian besar — 935.62 M CHF —berasal dari sumber dengan kinerja tinggi saat ini, Ion Implantation Systems and Services, tahun sebelumnya menghasilkan 830.53 M CHF. Kontibusi terbesar terhadap angka pendapatan dibuat oleh Amerika Serikat — tahun sebelumnya memberikan AXCELIS TECHS INC 630.85 M CHF, dan tahun sebelumnya lagi — 586.35 M CHF.