Pendapatan ASML HOLDING NV tahun lalu berjumlah25.29 B CHF, yang sebagian besar — 8.30 B CHF —berasal dari sumber dengan kinerja tinggi saat ini, Extreme Ultraviolet, tahun sebelumnya menghasilkan 6.85 B CHF. Kontibusi terbesar terhadap angka pendapatan dibuat oleh Taiwan — tahun sebelumnya memberikan ASML HOLDING NV 7.35 B CHF, dan tahun sebelumnya lagi — 7.87 B CHF.