Pendapatan ASML HOLDING N.V. tahun lalu berjumlah25.61 B CHF, yang sebagian besar — 8.48 B CHF —berasal dari sumber dengan kinerja tinggi saat ini, Extreme Ultraviolet, tahun sebelumnya menghasilkan 6.97 B CHF. Kontibusi terbesar terhadap angka pendapatan dibuat oleh Taiwan — tahun sebelumnya memberikan ASML HOLDING N.V. 7.50 B CHF, dan tahun sebelumnya lagi — 8.01 B CHF.