Pendapatan Tokyo Electron Ltd. tahun lalu berjumlah11.21 B EUR, yang sebagian besar — 8.58 B EUR —berasal dari sumber dengan kinerja tinggi saat ini, New Equipment. Kontibusi terbesar terhadap angka pendapatan dibuat oleh Cina — tahun sebelumnya memberikan Tokyo Electron Ltd. 4.98 B EUR, dan tahun sebelumnya lagi — 3.66 B EUR.