Pendapatan Amtech Systems Inc. tahun lalu berjumlah90.89 M EUR, yang sebagian besar — 62.12 M EUR —berasal dari sumber dengan kinerja tinggi saat ini, Thermal Processing Solutions, tahun sebelumnya menghasilkan 73.40 M EUR. Kontibusi terbesar terhadap angka pendapatan dibuat oleh Amerika Serikat — tahun sebelumnya memberikan Amtech Systems Inc. 65.87 M EUR, dan tahun sebelumnya lagi — 79.98 M EUR.