Pendapatan Amtech Systems Inc. tahun lalu berjumlah107.18 M EUR, yang sebagian besar — 73.40 M EUR —berasal dari sumber dengan kinerja tinggi saat ini, Semiconductor, tahun sebelumnya menghasilkan 89.77 M EUR. Kontibusi terbesar terhadap angka pendapatan dibuat oleh Amerika Serikat — tahun sebelumnya memberikan Amtech Systems Inc. 79.98 M EUR, dan tahun sebelumnya lagi — 91.01 M EUR.