Pendapatan Axcelis Technologies, Inc. tahun lalu berjumlah1.13 B USD, yang sebagian besar — 1.11 B USD —berasal dari sumber dengan kinerja tinggi saat ini, Ion Implantation Systems and Services, tahun sebelumnya menghasilkan 898.13 M USD. Kontibusi terbesar terhadap angka pendapatan dibuat oleh Amerika Serikat — tahun sebelumnya memberikan Axcelis Technologies, Inc. 749.29 M USD, dan tahun sebelumnya lagi — 634.08 M USD.