Pendapatan AXCELIS TECHNOLOGIES INC tahun lalu berjumlah983.24 M EUR, yang sebagian besar — 1.01 B EUR —berasal dari sumber dengan kinerja tinggi saat ini, Ion Implantation Systems and Services, tahun sebelumnya menghasilkan 839.18 M EUR. Kontibusi terbesar terhadap angka pendapatan dibuat oleh Amerika Serikat — tahun sebelumnya memberikan AXCELIS TECHNOLOGIES INC 678.86 M EUR, dan tahun sebelumnya lagi — 592.46 M EUR.