Pendapatan ASML HOLDING NV tahun lalu berjumlah610.02 B MXN, yang sebagian besar — 208.65 B MXN —berasal dari sumber dengan kinerja tinggi saat ini, Argon Fluoride Immersion, tahun sebelumnya menghasilkan 169.05 B MXN. Kontibusi terbesar terhadap angka pendapatan dibuat oleh Cina — tahun sebelumnya memberikan ASML HOLDING NV 220.05 B MXN, dan tahun sebelumnya lagi — 135.95 B MXN.