Pendapatan ASML tahun lalu berjumlah28.26 B EUR, yang sebagian besar — 9.67 B EUR —berasal dari sumber dengan kinerja tinggi saat ini, Argon Fluoride Immersion, tahun sebelumnya menghasilkan 9.02 B EUR. Kontibusi terbesar terhadap angka pendapatan dibuat oleh Cina — tahun sebelumnya memberikan ASML 10.20 B EUR, dan tahun sebelumnya lagi — 7.25 B EUR.